定制漏孔（氦檢漏儀內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏孔）VTL-EA型
關(guān)鍵詞：標(biāo)準(zhǔn)漏孔 | MPCVD | 電容薄膜規(guī)真空計(jì) | 高低真空校準(zhǔn)裝置 | 氦漏孔校準(zhǔn)裝置
分類(lèi)：
產(chǎn)品詳情
檢漏儀內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏孔是檢漏儀部件中非常重要的一部分，與檢漏儀的精確度息息相關(guān)，檢漏儀器檢測(cè)過(guò)程中用來(lái)校準(zhǔn)其精度的一種標(biāo)準(zhǔn)漏率。通過(guò)比較檢漏儀對(duì)這些標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)行檢測(cè)時(shí)的響應(yīng)值與實(shí)際尺寸的差異，可以評(píng)估檢漏儀的檢測(cè)精度和穩(wěn)定性，在檢漏儀的檢測(cè)過(guò)程中，由于受到環(huán)境、物質(zhì)等各種因素的影響，檢測(cè)結(jié)果可能會(huì)出現(xiàn)誤差。此時(shí)若采用標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)行校準(zhǔn)，便可以提高檢測(cè)儀器的準(zhǔn)確性和可靠性。
目前通常是廠家提供的鋁制滲氦標(biāo)準(zhǔn)漏孔，漏率一般是10-8Pa·m3/s量級(jí)，東貝真空制作的內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏孔是采用微通道毛細(xì)管的通道型漏孔。
技術(shù)參數(shù)一覽表
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VTL |
-EA |
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漏孔元件 |
微通道毛細(xì)管 |
漏率 |
10-8Pa.m3/s (其他漏率可定制） |
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充壓 |
可重復(fù)充氣 |
對(duì)外接口 |
根據(jù)檢漏儀接口定制，如KF16 |
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示值允許偏差 |
±10% |
溫度補(bǔ)償 |
＜0.3%/℃ |
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應(yīng)用 |
可以替代當(dāng)前主流品牌檢漏儀的內(nèi)置漏孔，例如：INFICON(英?？担eybold（萊寶）、Pfeiffer/Adixen(普發(fā)/阿爾卡特）、KYKY |
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特點(diǎn)
抗震抗摔，使用壽命長(zhǎng)：檢漏儀自帶漏孔為滲氦漏孔，泄漏元件是玻璃滲透膜，非常容易破碎損壞，而且不能充氣重復(fù)使用，廠家建議一般2年更換漏孔，東貝真空采用的微通道毛細(xì)管通道型漏孔，抗震抗摔，使用壽命一般為滲透膜材質(zhì)漏孔幾倍甚至更長(zhǎng)。
漏率穩(wěn)定：檢漏儀自帶的滲氦漏孔，溫度系數(shù)一般為3.0%~4.0%/℃，由于天氣不同的溫差，以及檢漏儀內(nèi)部開(kāi)機(jī)前后內(nèi)部相對(duì)封閉環(huán)境的溫度變化等，均會(huì)對(duì)漏孔的漏率影響較大，而且滲氦漏孔的穩(wěn)定時(shí)間非常長(zhǎng)，通常需要幾個(gè)小時(shí)，這必然會(huì)造成檢漏儀的偏差；東貝真空采用的微通道毛細(xì)管技術(shù)溫度補(bǔ)償小于0.3%/℃，可忽略溫度補(bǔ)償（溫度變化10℃漏率變化相當(dāng)于滲氦漏孔變化1℃）。
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